Öljytön ilmakompressori Semiconductor Labsille
  • Öljytön ilmakompressori Semiconductor Labsille Öljytön ilmakompressori Semiconductor Labsille

Öljytön ilmakompressori Semiconductor Labsille

Malli:ZR/ZT

DECHUAN valmistaa öljytöntä ilmakompressoria Semiconductor Labsille suoraa vientiä varten. Tämä erikoistunut järjestelmä tarjoaa sertifioitua öljytöntä ilmaa estämään puhdastilojen kiekkojen kontaminaatiota ja kalliita mikrosirun valmistusvirheitä. Ota yhteyttä!

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Luotettavien apulinjojen luomiseksi tarkkuustutkimuslaitoksiin hanki Kiinasta Oil Free Air Compressor Semiconductor Labs -toimittajille. DECHUANin erittäin puhtaat ilmaratkaisut hyödyntävät monikerroksisia hiilieristystiivisteitä hiilivetyjen jäämien poistamiseksi, mikä varmistaa koskemattoman kaasun laadun kriittiseen piin syövytykseen.

Kriittiset puhdastilakaasun puhtausvaatimukset

Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs

Puolijohdevalmistuksessa ja ohutkalvolitografiassa jopa yksi mikroskooppinen öljyhöyrypisara, joka kulkeutuu ilmalinjan läpi, voi pilata koko tuotantoerän. Tämä erikoistuote on suunniteltu täyttämään ehdottoman korkeimmat puhtausstandardit:

• TÜV-sertifioitu Class 0 Air Delivery: Järjestelmämme käyvät läpi tiukat testaukset vaihtelevissa käyttölämpötiloissa. Riippumaton analyysi vahvistaa, että ulostuloilmavirrassa ei ole lainkaan öljyjälkiä.

• Korroosiota sisältämättömät sisäilmareitit: Jokainen puristuskammion alavirran puolella oleva putkisto, jäähdytinnippu ja erotusmatriisi on valmistettu korkealaatuisesta ruostumattomasta teräksestä, jotta ruostehiutaleet eivät saastuttaisi puhdastilan ilmalinjoja.

• Kehittynyt Elektronikon®-integraatio: Integroitu ohjain seuraa tarkasti toimintamittareita ja sisältää ennakoivia turvapysäytyksiä, jotta laboratorioverkkoon ei pääse koskaan epäpuhdasta ilmaa.

Elektroniikan mikrokontaminaation korkeat kustannukset

Puolijohdekiekkojen valmistuksessa yksi pisara öljyaerosolia voi saastuttaa koko puhdastilan ympäristön, tuhota tuhansia piikiekkoja ja aiheuttaa miljoonia menetettyjä tuotantoaikaa. Perinteiset ilmakompressorit eivät voi taata absoluuttista nollahiilivetypuhtautta, jota vaaditaan näissä nanometrin mittakaavassa.

Erikoistunut öljytön ilmakompressori Semiconductor Labsille takaa puhtaan prosessiturvan:

Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs

• Sertifioitu LUOKAN 0 ilmavirtaus: TÜV on testannut tiukasti äärimmäisillä lämpö- ja painealueilla varmistaakseen öljyttömän läsnäolon.

• Hiukkasvapaat sisäosat: Ruostumattomasta teräksestä valmistetut esijäähdyttimet ja tähtilamellilämmönvaihtimet eliminoivat hapettumishiutaleita tai kemiallisia vuotoja ilmareitistä.

• Electronic Monitoring Shield: Ennakoivat huoltohälytykset ja automaattiset vian sammutukset estävät järjestelmän poikkeamat ennen kuin ne saavuttavat puhdastilan työkalusi.

Tekniset puhtausparametrit

• Järjestelmän teholuokitus: 55kw - 900kw suuritiheyksiset kokoonpanot.

• Volumetrinen toimitusnopeus: 4,2 - 148,5 m³/min puhtaan virran tuotto.

• Öljypitoisuuden luokitus: ISO 8573-1 Class 0 täysin öljytön validointi.

• Jäähdytysrakenne: Ruostumattomasta teräksestä valmistettu nestejäähdytys estää kemiallisen kaasun muodostumisen.

ZR/ZT 55-90 (FF) STD
Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Asennettu teho (kW) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Paino - Täysi suorituskyky (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 55 -7.5STD 7.5 169.7 10.2 55 72 2245 2685 2230 1660 2000
ZR 55 -8.6STD 8.6 156.6 9.4 55 72 2245 2685 2230 1660 2000
ZR 55-10STD 10 140.9 8.5 55 72 2245 2685 2230 1660 2000
ZR 75 -7.5STD 7.5 224.7 13.5 75 72 2385 2825 2230 1660 2000
ZR 75 -8.6STD 8.6 214.9 12.9 75 72 2385 2825 2230 1660 2000
ZR 75 -10STD 10 205.0 12.3 75 72 2385 2825 2230 1660 2000
ZR 90 -7.5STD 7.5 267.2 16.0 90 72 2334 2774 2230 1660 2000
ZR 90 -8.6STD 8.6 250.9 15.1 90 74 2334 2774 2230 1660 2000
ZR 90-10STD 10 236.5 14.2 90 74 2334 2774 2230 1660 2000
ZT 55 -7.5STD 7.5 166.4 10.0 55 78 2810 3055 2630 1660 2150
ZT 55 -8.6STD 8.6 153.2 9.2 55 78 2810 3055 2630 1660 2150
ZT 55 -10STD 10 137.6 8.3 55 78 2810 3055 2630 1660 2150
ZT 75 -7.5STD 7.5 221.3 13.3 75 78 2930 3175 2630 1660 2150
ZT 75 -8.6STD 8.6 211.6 12.7 75 78 2930 3175 2630 1660 2150
ZT 75 -10STD 10 201.6 12.1 75 78 2930 3175 2630 1660 2150
ZT 90 -7.5STD 7.5 263.9 15.8 90 79 2940 3185 2630 1660 2150
ZT 90 -8.6STD 8.6 247.5 14.9 90 79 2940 3185 2630 1660 2150
ZT 90 -10STD 10 233.1 14.0 90 79 2940 3185 2630 1660 2150
ZR/ZT 75-90 VSD (FF) STD
Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Paino - Täysi suorituskyky (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 75 VSD -8.6 STD 8.6 74,7-229,4 4.5-13.8 73 2219 2659 2230 1660 2000
ZR 75 VSD -10.4 STD 10.4 81,7-202,9 4.9-12.2 73 2219 2659 2230 1660 2000
ZR 90 VSD -8.6 STD 8.6 74,1-282,5 4.4-16.9 73 2270 2710 2230 1660 2000
ZR 90 VSD -10.4 STD 10.4 75,5-250,5 4,5-15,0 73 2270 2710 2230 1660 2000
ZT 75 VSD -8.6 STD 8.6 71,2-226,0 4.3-13.6 78 2795 3040 2630 1660 2150
ZT 75 VSD -10.4 STD 10.4 78,2-199,6 4,7-12,0 78 2795 3040 2630 1660 2150
ZT 90 VSD -8.6 STD 8.6 70,6-279,1 4.2-16.7 79 2855 3100 2630 1660 2150
ZT 90 VSD -10.4 STD 10.4 72,0-247,1 4.3-14.8 79 2855 3100 2630 1660 2150

Yksikön suorituskyvyn vertailuolosuhteet mitattiin ISO 1217:n liitteen C 4. painoksen (2009) mukaisesti:

· Suhteellinen kosteus: 0 %

· Absoluuttinen tulopaine: 1 bar

· Tulolämpötila: 20°C Purkausnopeus (FAD) mitattiin seuraavilla käyttöpaineilla:

Vakionopeustyyppi:

·  -7,5 baarin tyyppi: 7 baaria

· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar

· -10 baarin tyyppi: 9 bar

VSD-tyyppi:

· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar

· -10,4 baarin tyyppi: 9 bar

· (2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd). Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (käyttäen 150 9614/2 äänenvoimakkuuden skannausmenetelmää). Uusi korjauskerroin on täysin epävarma arvo (KpAd), joka on testikoodin mukainen.

· (3) Paino on vain viitteellinen; todellinen toimitettu paino on ensisijainen.


ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Asennettu teho (kW) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Paino - Täysi suorituskyky (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 110 -7,5 STD 7.5 318.2 19.1 110 74 2800 3600 2431 1660 2000
ZR 110 -8,6 STD 8.6 297.5 17.8 110 74 2800 3600 2431 1660 2000
ZR 110-10 STD 10 277.6 16.7 110 74 2800 3600 2431 1660 2000
ZR 132 -7,5 STD 7.5 362.9 21.8 132 74 2850 3650 2431 1660 2000
ZR 132 -8,6 STD 8.6 338.5 20.3 132 74 2850 3650 2431 1660 2000
ZR 132 -10 STD 10 314.4 18.9 132 74 2850 3650 2431 1660 2000
ZR 145 -7,5 STD 7.5 392.9 23.6 145 74 2878 3678 2431 1660 2000
ZR 145 -8,6 STD 8.6 364.1 21.8 145 74 2878 3678 2431 1660 2000
ZR 145-10 STD 10 350.8 21.0 145 74 2878 3678 2431 1660 2000
ZR 160 -7,5 STD 7.5 434.0 26.0 160 74 2890 3690 2431 1660 2000
ZR 160 -8,6 STD 8.6 418.3 25.1 160 74 2890 3690 2431 1660 2000
ZR 160-10 STD 10 399.0 23.9 160 74 2890 3690 2431 1660 2000
ZT 110 -7.5 STD 7.5 315.0 18.9 110 79 3048 3835 3400 1660 2150
ZT 110 -8.6 STD 8.6 294.2 17.6 110 79 3048 3835 3400 1660 2150
ZT 110 -10 STD 10 274.3 16.5 110 79 3048 3835 3400 1660 2150
ZT 132 -7.5 STD 7.5 359.6 21.6 132 79 3098 3885 3400 1660 2150
ZT 132 -8.6 STD 8.6 335.3 20.1 132 79 3098 3885 3400 1660 2150
ZT 132 -10 STD 10 311.1 18.7 132 79 3098 3885 3400 1660 2150
ZT 145 -7.5 STD 7.5 389.6 23.4 145 79 3126 3913 3400 1660 2150
ZT 145 -8.6 STD 8.6 360.8 21.6 145 79 3126 3913 3400 1660 2150
ZT 145 -10 STD 10 347.5 20.9 145 79 3126 3925 3400 1660 2150
ZT 160 -7.5 STD 7.5 430.6 25.8 160 79 3138 3925 3400 1660 2150
ZT 160 -8.6 STD 8.6 414.9 24.9 160 79 3138 3925 3400 1660 2150
ZT 160 -10 STD 10 395.6 23.7 160 79 3138 3925 3400 1660 2150
ZR/ZT 110-160 VSD (FF) STD
Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Paino - Täysi suorituskyky (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR110VSD-8.6 STD 8.6 100,5-319,3 6,0-19,2 74 2900 3700 2431 1660 2000
ZR110VSD-10.4 STD 10.4 167,1-292,1 10.0-17.5 74 2900 3700 2431 1660 2000
ZR132VSD-8.6 STD 8.6 107,1-357,1 6.5-21.4 74 2900 3700 2431 1660 2000
ZR132VSD-10.4 STD 10.4 166,6-331,0 10.0-19.9 74 2900 3700 2431 1660 2000
ZR160VSD-8.6 STD(V1) 8.6 123,3-390,0 7.4-23.4 74 2920 3720 2431 1660 2000
ZR160VSD-10.4 STD(V1) 10.4 166,6-357,8 10.0-21.5 74 2920 3720 2431 1660 2000
ZR160VSD-8.6 STD(V2) 8.6 123,3-411,0 7.4-24.7 74 2920 3720 2431 1660 2000
ZR160VSD-10.4 STD(V2) 10.4 166,6-377,6 10.0-22.7 74 2920 3720 2431 1660 2000
ZT 110 VSD-8.6 8.6 99,9-327,6 6,0-19,2 79 3098 3935 3400 1660 2150
ZT 110 VSD-10.4 10.4 165,5-291,9 9.9-17.5 79 3098 3935 3400 1660 2150
ZT 132 VSD-8.6 8.6 124,8-357,5 7.5-21.4 79 3098 3935 3400 1660 2150
ZT 132 VSD-10.4 10.4 164,9-331,2 9.9-19.9 79 3098 3935 3400 1660 2150
ZT 160 VSD-8.6 STD(V1) 8.6 143,9-388,8 8.6-23.3 79 3118 3935 3400 1660 2150
ZT 160 VSD-10.4 STD(V1) 10.4 164,9-358,2 9.9-21.5 79 3118 3935 3400 1660 2150
ZT 160 VSD-8.6 STD(V2) 8.6 146,9-438,2 8.8-26.3 79 3118 3935 3400 1660 2150
ZT 160 VSD-10.4 STD(V2) 10.4 164,9-378,1 9.9-22.7 79 3118 3935 3400 1660 2150

ISO 1217 Annex C, 4. painos (2009) mukaan yksikön suorituskyvyn vertailuehdot ovat seuraavat:

· Suhteellinen kosteus: 0 %

· Absoluuttinen tulopaine: 1 bar

· Tulolämpötila: 20°C

Siirtymä FAD mitataan seuraavilla käyttöpaineilla:

Vakionopeusmallit:

-7,5 bar mallit: 7 bar

-8,6 baarin mallit: 7 bar

-10 baarin mallit: 9 bar

VSD mallit:

-8,6 baarin mallit: 7 bar

-10,4 baarin mallit: 9 bar

(2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd). Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (ISO 9614/2 äänenvoimakkuuden skannausmenetelmä). Äskettäin lisätty korjauskerroin KpAd on epävarma ja vastaa testikoodia.

(3) V1 = 380 V, V2 = 400 V.

(4) Paino on vain viitteellinen; todellinen paino on ensisijainen.

ZR/ZT 200-275 (FF)

Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Asennettu teho (kW) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Paino - Täysi suorituskyky (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 200 -7,5 7.5 602.3 36.1 200 67 3860 5230 3140 1662 2008
ZR 200 -8,6 8.6 552.1 33.1 200 67 3860 5230 3140 1662 2008
ZR 200 -10 10 506.6 30.0 200 67 3860 5230 3140 1662 2008
ZR 250 -7,5 7.5 718.0 43.1 250 67 4310 5680 3140 1662 2008
ZR 250 -8,6 8.6 684.3 41.0 250 67 4310 5680 3140 1662 2008
ZR 250 -10 10 622.8 37.4 250 67 4310 5680 3140 1662 2008
ZR 275 -7,5 7.5 774.4 46.5 275 67 4640 6010 3140 1662 2008
ZR 275 -8,6 8.6 718.0 43.1 275 67 4640 6010 3140 1662 2008
ZR 275 -10 10 683.9 41.0 275 67 4640 6010 3140 1662 2008
ZR 275 -13 13 561.8 33.7 275 70 5250 6150 5040 1662 2008
ZT 200 -7,5 7.5 567.1 34.0 200 77 5250 6150 5040 1662 2108
ZT 200 -8.6 8.6 519.5 31.2 200 77 5250 6150 5040 1662 2108
ZT 200 -10 10 497.4 29.8 200 78 5250 6150 5040 1662 2108
ZT 250 -7,5 7.5 711.5 42.7 250 77 5700 6600 5040 1662 2108
ZT 250 -8,6 8.6 676.8 40.6 250 77 5700 6600 5040 1662 2108
ZT 250 -10 10 614.3 36.9 250 77 5700 6600 5040 1662 2108
ZT 275 -7,5 7.5 745.4 44.7 275 77 6030 7080 5040 1662 2108
ZT 275 -8,6 8.6 711.5 42.7 275 77 6030 7080 5040 1662 2108
ZT 275 -10 10 676.4 40.6 275 78 6030 7080 5040 1662 2108
 ZR/ZT 250-315 VSD (FF)
Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Asennettu teho (kW) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Paino - Täysi suorituskyky (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 250 VSD -8,6 8.6 242,6-714,4 14.6-42.9 73 73 4710 6400 3140 1662 2008
ZR 250 VSD -10,4 10.4 234,2-640,2 14.1-38.4 73 73 4710 6400 3140 1662 2008
ZR 315 VSD -8,6 8.6 242,6-788,1 14,6-47,3 73 73 4710 6400 3140 1662 2008
ZR 315 VSD -10,4 10.4 234,2-700,0 14,1-42,0 73 73 4710 6400 3140 1662 2008
ZT 250 VSD -8.6 8.6 238,0-696,9 14.3-41.8 78 78 5700 6950 5040 1662 2108
ZT 250 VSD -10.4 10.4 386,0-633,4 23,2-38,0 78 78 5700 6950 5040 1662 2108
ZT 315 VSD -8.6 8.6 238,0-739,4 14.3-44.4 78 78 5700 6950 5040 1662 2108
ZT 315 VSD -10.4 10.4 386,0-681,0 23.2-40.9 78 78 5700 6950 5040 1662 2108
 Yksikön suorituskyvyn vertailuolosuhteet mitattiin ISO 1217:n liitteen C 4. painoksen (2009) mukaisesti:

-Suhteellinen kosteus: 0 %

- Absoluuttinen tulopaine: 1 bar

- Tulolämpötila: 20°℃

Purkausnopeus (FAD) mitattiin seuraavilla käyttöpaineilla

Vakionopeustyyppi:

-7,5 baarin tyyppi: 7 bar

-8,6 baarin tyyppi: 7 bar

-10 baarin tyyppi: 9 bar

VSD-tyyppi:

-8,6 baarin tyyppi: 7 bar

-10,4 baarin tyyppi: 9 bar

(2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd).

Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (käyttäen 150 9614/2 (äänivoimakkuuden skannausmenetelmä).

Uusi korjauskerroin on täysin epävarma arvo (KpAd), joka on testikoodin mukainen.

(3) Paino on vain viitteellinen; todellinen toimitettu paino on ensisijainen.

300-750 ZR

Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Asennettu teho (kW) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Paino - Täysi suorituskyky (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 300 -7,5 7.5 774.6 46.5 300 72 7950 3700 2120 2400
ZR 300 -8,6 8.6 725.7 43.5 300 72 7950 3700 2120 2400
ZR 300 -10 10 695.1 41.7 300 72 7950 3700 2120 2400
ZR 315 -7,5 7.5 848.0 50.9 315 72 7950 3700 2120 2400
ZR 315 -8,6 8.6 793.1 47.6 315 72 7950 3700 2120 2400
ZR 315 -10 10 766.6 46.0 315 72 7950 3700 2120 2400
ZR 355 -7,5 7.5 939.1 56.3 355 74 8050 3700 2120 2400
ZR 355 -8,6 8.6 877.1 52.6 355 74 8050 3700 2120 2400
ZR 355 -10 10 839.6 50.4 355 74 8050 3700 2120 2400
ZR 400 -7,5 7.5 1034.2 62.1 400 74 8150 3700 2120 2400
ZR 400 -8,6 8.6 963.9 57.8 400 74 8150 3700 2120 2400
400 -10 ZR 10 930.5 55.8 400 74 8150 3700 2120 2400
ZR 425 -7,5 7.5 1143.9 68.6 450 74 8250 3700 2120 2400
ZR 425 -8,6 8.6 1063.1 63.8 450 74 8250 3700 2120 2400
ZR 450 -7,5 7.5 1275.7 76.5 450 74 8700 4320 2120 2400
ZR 450 -8,6 8.6 1191.8 71.5 450 74 8700 4320 2120 2400
ZR 450 -10 10 1106.3 66.3 450 74 8700 4320 2120 2400
ZR 500 -7,5 7.5 1399.1 78.3 500 74 9200 4320 2120 2400
ZR 500 -8,6 8.6 1305.2 73.1 500 74 9200 4320 2120 2400
ZR 500 -10 10 1217.8 73.1 500 74 9200 4320 2120 2400
ZR 630 -7,5 7.5 1715.0 102.9 630 76 9800 4320 2120 2400
ZR 630 -8,6 8.6 1595.0 95.7 630 76 9800 4320 2120 2400
ZR 630 -10 10 1484.1 88.9 630 76 9800 4320 2120 2400
ZR 750 -7,5 7.5 2046.2 122.8 750 76 10000 4320 2120 2400
ZR 750 -8,6 8.6 1827.4 109.6 750 76 10000 4320 2120 2400
ZR 750 -10 10 1696.7 101.8 750 76 10000 4320 2120 2400
ZR 355-900VSD
Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Asennettu teho (kW) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Paino - Täysi suorituskyky (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 355 VSD -8,6 8.6 371,2-1037,5 22,3-62,2 81 81 8805 4075 2120 2400
ZR 355 VSD -10,4 10.4 374,4-942,4 22,5-56,5 81 81 8805 4075 2120 2400
ZR 400 VSD -8,6 8.6 371,2-1120,9 22,3-67,3 81 81 9090 4075 2120 2400
ZR 400 VSD -10,4 10.4 374,4-998,6 22.5-59.9 81 81 9090 4075 2120 2400
ZR 500 VSD -10,4 10.4 374,4-1177,9 22,5-70,7 81 81 9190 4075 2120 2400
ZR 700 VSD -8,6 8.6 374,4-2061,8 54,9-123,7 83 83 11402 4660 2120 2470
ZR 700 VSD -10,4 10.4 849,7-1840,5 51,0-110,4 83 83 11402 4660 2120 2470
ZR 900 VSD -8,6 8.6 930,7-2475,4 55,8-148,5 83 83 12600 4660 2120 2470
ZR 900 VSD -10,4 10.4 864,8-1873,2 51,9-112,4 83 83 12600 4660 2120 2470

Yksikön suorituskyvyn vertailuolosuhteet mitattiin ISO 1217:n liitteen C 4. painoksen (2009) mukaisesti:

· Suhteellinen kosteus: 0 %

· Absoluuttinen tulopaine: 1 bar

· Tulolämpötila: 20°C Purkausnopeus (FAD) mitattiin seuraavilla käyttöpaineilla:

Vakionopeustyyppi:

·  -7,5 baarin tyyppi: 7 baaria

· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar

· -10 baarin tyyppi: 9 bar

VSD-tyyppi:

· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar

· -10,4 baarin tyyppi: 9 bar

· (2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd). Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (käyttäen 150 9614/2 äänenvoimakkuuden skannausmenetelmää). Uusi korjauskerroin on täysin epävarma arvo (KpAd), joka on testikoodin mukainen.

· (3) Paino on vain viitteellinen; todellinen toimitettu paino on ensisijainen.

ZR 200X-400X

Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Asennettu teho (kW) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 200X -7,5 7.5 623.1 37.4 200 67 3860 3140 1662 2008
ZR 200X -8,6 8.6 601.9 36.1 200 67 3860 3140 1662 2008
ZR 200X -10 10 551.7 33.1 200 67 3860 3140 1662 2008
ZR 250X -7,5 7.5 717.7 43.1 250 67 4310 3140 1662 2008
ZR 250X -8,6 8.6 683.8 41.0 250 67 4310 3140 1662 2008
ZR 315X -7,5 7.5 939.0 56.3 315 76 7950 3700 2120 2400
ZR 355X -7,5 7.5 1034.2 62.1 355 76 8050 3700 2120 2400
ZR 355X -8,6 8.6 963.5 57.8 355 76 8050 3700 2120 2400
ZR 355X -10 10 930.2 55.8 355 76 8050 3700 2120 2400
ZR 400X -7,5 7.5 1143.8 68.6 400 76 8150 3700 2120 2400
ZR 400X -8,6 8.6 1062.7 63.8 400 76 8150 3700 2120 2400
ZR/ZT 75-160 VSD+
Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 75 VSD+ 10.4 78,8-229,9 4.7-13.8 68 2500 2030 1660 2000
ZR 90 VSD+ 10.4 78,8-283,9 4,7-17,0 68 2500 2030 1660 2000
ZR 110 VSD+ 10.4 78,8-330,3 4.7-19.8 68 2500 2030 1660 2000
ZR 132 VSD+ 10.4 78,8-384,0 4,7-23,0 68 2500 2030 1660 2000
ZT 145 VSD+ 10.4 78,8-415,2 4.7-24.9 70 2500 2030 1660 2000
ZT 160 VSD+ 10.4 78,8-468,2 4.7-27.1 70 2500 2030 1660 2000
ZT 75 VSD+ 10.4 78,8-227,4 4.7-13.6 72 3150 3400 1654 2000
ZT 90 VSD+ 10.4 78,8-276,9 4.7-16.6 72 3150 3400 1654 2000
ZT 110 VSD+ 10.4 78,8-323,4 4.7-19.4 72 3150 3400 1654 2000
ZT 132 VSD+ 10.4 78,8-377,5 4.7-22.7 72 3150 3400 1654 2000
ZT 145 VSD+ 10.4 78,8-409,0 4.7-24.5 74 3150 3400 1654 2000
ZT 160 VSD+ 10.4 124,7-436,4 7.5-26.2 74 3150 3400 1654 2000
ZR/ZT 75-160 VSD+ FF
Malli Suurin pakokaasupaine (bar) Liikenne FAD (l/s) Liikenne FAD (m³/min) Melutaso (dB(A)) Vakiopaino (kg) Koko L(mm) Koko W(mm) Koko H(mm)
ZR 75 VSD+ FF 10.4 78,8-229,9 4.7-13.8 68 3400 3400 1660 2000
ZR 90 VSD+ FF 10.4 78,8-283,9 4,7-17,0 68 3400 3400 1660 2000
ZR 110 VSD+ FF 10.4 78,8-330,3 4.7-19.8 68 3400 3400 1660 2000
ZR 132 VSD+ FF 10.4 78,8-384,0 4,7-23,0 68 3400 3400 1660 2000
ZR 145 VSD+ FF 10.4 78,8-415,2 4.7-24.9 70 3400 3400 1660 2000
ZR 160 VSD+ FF 10.4 78,8-468,2 4.7-27.1 70 3400 3400 1660 2000
ZT 75 VSD+ FF 10.4 78,8-227,4 4.7-13.6 72 3790 4085 1654 2000
ZT 90 VSD+ FF 10.4 78,8-276,9 4.7-16.6 72 3790 4085 1654 2000
ZT 110 VSD+ FF 10.4 78,8-323,4 4.7-19.4 72 3790 4085 1654 2000
ZT 132 VSD+ FF 10.4 107,0-377,5 6.4-22.7 72 3790 4085 1654 2000
ZT 145 VSD+ FF 10.4 118,0-409,0 7.1-24.5 74 3790 4085 1654 2000
ZT 160 VSD+ FF 10.4 124,7-436,4 7.5-26.2 74 3790 4085 1654 2000

Yksikön suorituskyvyn vertailuolosuhteet mitattiin ISO 1217:n liitteen C 4. painoksen (2009) mukaisesti:

· Suhteellinen kosteus: 0 %

· Absoluuttinen tulopaine: 1 bar

· Tulolämpötila: 20°C Purkausnopeus (FAD) mitattiin seuraavilla käyttöpaineilla:

Vakionopeustyyppi:

·  -7,5 baarin tyyppi: 7 baaria

· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar

· -10 baarin tyyppi: 9 bar

VSD-tyyppi:

· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar

· -10,4 baarin tyyppi: 9 bar

· (2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd). Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (käyttäen 150 9614/2 äänenvoimakkuuden skannausmenetelmää). Uusi korjauskerroin on täysin epävarma arvo (KpAd), joka on testikoodin mukainen.

· (3) Paino on vain viitteellinen; todellinen toimitettu paino on ensisijainen.

Cleanroom Laboratory User Case Study

Aasialainen elektroniikkavalmistaja asensi DECHUANin erikoisilmajärjestelmän toimittamaan erittäin puhtaita typpeä tuottavia silmukoita ja pneumaattisia testausvarsia. Aiemmin vakiokompressorit sallivat öljyhöyryjen kulkeutua sisäsuodattimien ohi, pinnoittaen litografialinssejä ja aiheuttaen mikromurtumia kiekkojen pinnoitteissa. Semiconductor Labsin öljyttömän ilmakompressorin asennuksen jälkeen laboratorio raportoi nolla öljyyn liittyvää linjakontaminaatiota, mikä säästää huomattavia puhdastilojen puhdistus- ja uudelleenkalibrointikustannuksia kahden vuoden jatkuvan käytön aikana.

Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs

Räätälöityjen komponenttien räätälöinti ja ohjaus

• Ruostumattomasta teräksestä valmistettujen materiaalien päivitys: Korvaamme kaikki standardi sisäiset valukomponentit korkealaatuisella ruostumattomalla teräksellä noudattaaksemme tiukkoja mikrokontaminaation ohjeita.

• Kehittyneet tiedonsiirtoprotokollat: Yksikkö on esiladattu erityisillä viestintäprotokolilla, joiden avulla puhdastilojen ohjauskeskukset voivat seurata ilmanmittauksia etänä.

• Kompakti rakenteellinen jalanjälki: Sisätilojen asettelu on optimoitu minimoimaan jalanjälki, joten se on helppo asentaa ahtaisiin laboratorion kellaritiloihin.

Teollisuuden ostajan UKK

K: Voimmeko liittää tämän kompressorin suoraan ultra-high-puhtaus (UHP) -suodatussilmukoihin?

V: Kyllä, ilmatehomme on täysin yhteensopiva kehittyneiden puhdastilan kuivausainekuivainten ja submikronisten hiukkasten suodatusjärjestelmien kanssa. Koska raakailma ei sisällä öljyhöyryä, käyttöpisteeseen erikoistuneet suodattimesi eivät tukkeudu öljysumulla, mikä pidentää suodattimen käyttöikää.

K: Kuinka Z-tyypin tiivisteet varmistavat öljyn siirtymisen vaihteistosta?

V: Semiconductor Labsin öljyttömässä ilmakompressorissa on fyysinen ilmakehän ilmatila öljyvoideltujen vaihteistokotelon ja kuivan puristuskammion välissä. Erikoistuneet kosketuksettomat hiilirengastiivisteet on yhdistetty alipainekanaviin, mikä varmistaa, että kaikki vaihteistoöljysumut estetään täysin pääsemästä puhtaaseen ilmavirtaan.

K: Mitä tapahtuu, jos sisäinen lämpötila-anturi havaitsee epänormaalin lukeman?

V: Elektronikon®-ohjain ottaa näytteitä tärkeitä tietoja useita kertoja sekunnissa. Jos lämpötilapiikki havaitaan missä tahansa vaiheessa, järjestelmä laukaisee välittömästi automaattisen sammutuksen ja sulkee eristysventtiilit varmistaen, että jäähdyttämätöntä ilmaa ei koskaan virtaa alavirtaan laboratoriosi herkkiin laitteisiin.

Oil Free Air Compressor for Semiconductor LabsOil Free Air Compressor for Semiconductor LabsOil Free Air Compressor for Semiconductor LabsOil Free Air Compressor for Semiconductor LabsOil Free Air Compressor for Semiconductor Labs

Hot Tags: Öljytön ilmakompressori Semiconductor Labsille, Kiina, valmistaja, toimittaja

Aiheeseen liittyvä luokka

Lähetä kysely

Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
Käytämme evästeitä tarjotaksemme sinulle paremman selauskokemuksen, analysoidaksemme sivuston liikennettä ja mukauttaaksemme sisältöä. Käyttämällä tätä sivustoa hyväksyt evästeiden käytön. Tietosuojakäytäntö
Hylätä Hyväksyä