DECHUAN valmistaa öljytöntä ilmakompressoria Semiconductor Labsille suoraa vientiä varten. Tämä erikoistunut järjestelmä tarjoaa sertifioitua öljytöntä ilmaa estämään puhdastilojen kiekkojen kontaminaatiota ja kalliita mikrosirun valmistusvirheitä. Ota yhteyttä!
Luotettavien apulinjojen luomiseksi tarkkuustutkimuslaitoksiin hanki Kiinasta Oil Free Air Compressor Semiconductor Labs -toimittajille. DECHUANin erittäin puhtaat ilmaratkaisut hyödyntävät monikerroksisia hiilieristystiivisteitä hiilivetyjen jäämien poistamiseksi, mikä varmistaa koskemattoman kaasun laadun kriittiseen piin syövytykseen.
Puolijohdevalmistuksessa ja ohutkalvolitografiassa jopa yksi mikroskooppinen öljyhöyrypisara, joka kulkeutuu ilmalinjan läpi, voi pilata koko tuotantoerän. Tämä erikoistuote on suunniteltu täyttämään ehdottoman korkeimmat puhtausstandardit:
• TÜV-sertifioitu Class 0 Air Delivery: Järjestelmämme käyvät läpi tiukat testaukset vaihtelevissa käyttölämpötiloissa. Riippumaton analyysi vahvistaa, että ulostuloilmavirrassa ei ole lainkaan öljyjälkiä.
• Korroosiota sisältämättömät sisäilmareitit: Jokainen puristuskammion alavirran puolella oleva putkisto, jäähdytinnippu ja erotusmatriisi on valmistettu korkealaatuisesta ruostumattomasta teräksestä, jotta ruostehiutaleet eivät saastuttaisi puhdastilan ilmalinjoja.
• Kehittynyt Elektronikon®-integraatio: Integroitu ohjain seuraa tarkasti toimintamittareita ja sisältää ennakoivia turvapysäytyksiä, jotta laboratorioverkkoon ei pääse koskaan epäpuhdasta ilmaa.
Puolijohdekiekkojen valmistuksessa yksi pisara öljyaerosolia voi saastuttaa koko puhdastilan ympäristön, tuhota tuhansia piikiekkoja ja aiheuttaa miljoonia menetettyjä tuotantoaikaa. Perinteiset ilmakompressorit eivät voi taata absoluuttista nollahiilivetypuhtautta, jota vaaditaan näissä nanometrin mittakaavassa.
Erikoistunut öljytön ilmakompressori Semiconductor Labsille takaa puhtaan prosessiturvan:
• Sertifioitu LUOKAN 0 ilmavirtaus: TÜV on testannut tiukasti äärimmäisillä lämpö- ja painealueilla varmistaakseen öljyttömän läsnäolon.
• Hiukkasvapaat sisäosat: Ruostumattomasta teräksestä valmistetut esijäähdyttimet ja tähtilamellilämmönvaihtimet eliminoivat hapettumishiutaleita tai kemiallisia vuotoja ilmareitistä.
• Electronic Monitoring Shield: Ennakoivat huoltohälytykset ja automaattiset vian sammutukset estävät järjestelmän poikkeamat ennen kuin ne saavuttavat puhdastilan työkalusi.
• Järjestelmän teholuokitus: 55kw - 900kw suuritiheyksiset kokoonpanot.
• Volumetrinen toimitusnopeus: 4,2 - 148,5 m³/min puhtaan virran tuotto.
• Öljypitoisuuden luokitus: ISO 8573-1 Class 0 täysin öljytön validointi.
• Jäähdytysrakenne: Ruostumattomasta teräksestä valmistettu nestejäähdytys estää kemiallisen kaasun muodostumisen.
ZR/ZT 55-90 (FF) STD| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Asennettu teho (kW) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Paino - Täysi suorituskyky (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 55 -7.5STD | 7.5 | 169.7 | 10.2 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 55 -8.6STD | 8.6 | 156.6 | 9.4 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 55-10STD | 10 | 140.9 | 8.5 | 55 | 72 | 2245 | 2685 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -7.5STD | 7.5 | 224.7 | 13.5 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -8.6STD | 8.6 | 214.9 | 12.9 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 -10STD | 10 | 205.0 | 12.3 | 75 | 72 | 2385 | 2825 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -7.5STD | 7.5 | 267.2 | 16.0 | 90 | 72 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 -8.6STD | 8.6 | 250.9 | 15.1 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90-10STD | 10 | 236.5 | 14.2 | 90 | 74 | 2334 | 2774 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 55 -7.5STD | 7.5 | 166.4 | 10.0 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 55 -8.6STD | 8.6 | 153.2 | 9.2 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 55 -10STD | 10 | 137.6 | 8.3 | 55 | 78 | 2810 | 3055 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -7.5STD | 7.5 | 221.3 | 13.3 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -8.6STD | 8.6 | 211.6 | 12.7 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 -10STD | 10 | 201.6 | 12.1 | 75 | 78 | 2930 | 3175 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -7.5STD | 7.5 | 263.9 | 15.8 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -8.6STD | 8.6 | 247.5 | 14.9 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 -10STD | 10 | 233.1 | 14.0 | 90 | 79 | 2940 | 3185 | 2630 | 1660 | 2150 |
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Paino - Täysi suorituskyky (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD -8.6 STD | 8.6 | 74,7-229,4 | 4.5-13.8 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 81,7-202,9 | 4.9-12.2 | 73 | 2219 | 2659 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD -8.6 STD | 8.6 | 74,1-282,5 | 4.4-16.9 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 75,5-250,5 | 4,5-15,0 | 73 | 2270 | 2710 | 2230 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD -8.6 STD | 8.6 | 71,2-226,0 | 4.3-13.6 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 75 VSD -10.4 STD | 10.4 | 78,2-199,6 | 4,7-12,0 | 78 | 2795 | 3040 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 VSD -8.6 STD | 8.6 | 70,6-279,1 | 4.2-16.7 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
| ZT 90 VSD -10.4 STD | 10.4 | 72,0-247,1 | 4.3-14.8 | 79 | 2855 | 3100 | 2630 | 1660 | 2150 |
Yksikön suorituskyvyn vertailuolosuhteet mitattiin ISO 1217:n liitteen C 4. painoksen (2009) mukaisesti:
· Suhteellinen kosteus: 0 %
· Absoluuttinen tulopaine: 1 bar
· Tulolämpötila: 20°C Purkausnopeus (FAD) mitattiin seuraavilla käyttöpaineilla:
Vakionopeustyyppi:
· -7,5 baarin tyyppi: 7 baaria
· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar
· -10 baarin tyyppi: 9 bar
VSD-tyyppi:
· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar
· -10,4 baarin tyyppi: 9 bar
· (2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd). Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (käyttäen 150 9614/2 äänenvoimakkuuden skannausmenetelmää). Uusi korjauskerroin on täysin epävarma arvo (KpAd), joka on testikoodin mukainen.
· (3) Paino on vain viitteellinen; todellinen toimitettu paino on ensisijainen.
ZR/ZT 110-160 (FF) STD
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Asennettu teho (kW) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Paino - Täysi suorituskyky (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 110 -7,5 STD | 7.5 | 318.2 | 19.1 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 -8,6 STD | 8.6 | 297.5 | 17.8 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 110-10 STD | 10 | 277.6 | 16.7 | 110 | 74 | 2800 | 3600 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -7,5 STD | 7.5 | 362.9 | 21.8 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -8,6 STD | 8.6 | 338.5 | 20.3 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 -10 STD | 10 | 314.4 | 18.9 | 132 | 74 | 2850 | 3650 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -7,5 STD | 7.5 | 392.9 | 23.6 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 -8,6 STD | 8.6 | 364.1 | 21.8 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 145-10 STD | 10 | 350.8 | 21.0 | 145 | 74 | 2878 | 3678 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -7,5 STD | 7.5 | 434.0 | 26.0 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 -8,6 STD | 8.6 | 418.3 | 25.1 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR 160-10 STD | 10 | 399.0 | 23.9 | 160 | 74 | 2890 | 3690 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT 110 -7.5 STD | 7.5 | 315.0 | 18.9 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 -8.6 STD | 8.6 | 294.2 | 17.6 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 -10 STD | 10 | 274.3 | 16.5 | 110 | 79 | 3048 | 3835 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -7.5 STD | 7.5 | 359.6 | 21.6 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -8.6 STD | 8.6 | 335.3 | 20.1 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 -10 STD | 10 | 311.1 | 18.7 | 132 | 79 | 3098 | 3885 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -7.5 STD | 7.5 | 389.6 | 23.4 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -8.6 STD | 8.6 | 360.8 | 21.6 | 145 | 79 | 3126 | 3913 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 145 -10 STD | 10 | 347.5 | 20.9 | 145 | 79 | 3126 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -7.5 STD | 7.5 | 430.6 | 25.8 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -8.6 STD | 8.6 | 414.9 | 24.9 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 -10 STD | 10 | 395.6 | 23.7 | 160 | 79 | 3138 | 3925 | 3400 | 1660 | 2150 |
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Paino - Täysi suorituskyky (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR110VSD-8.6 STD | 8.6 | 100,5-319,3 | 6,0-19,2 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR110VSD-10.4 STD | 10.4 | 167,1-292,1 | 10.0-17.5 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-8.6 STD | 8.6 | 107,1-357,1 | 6.5-21.4 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR132VSD-10.4 STD | 10.4 | 166,6-331,0 | 10.0-19.9 | 74 | 2900 | 3700 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 STD(V1) | 8.6 | 123,3-390,0 | 7.4-23.4 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 166,6-357,8 | 10.0-21.5 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-8.6 STD(V2) | 8.6 | 123,3-411,0 | 7.4-24.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZR160VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 166,6-377,6 | 10.0-22.7 | 74 | 2920 | 3720 | 2431 | 1660 | 2000 |
| ZT 110 VSD-8.6 | 8.6 | 99,9-327,6 | 6,0-19,2 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 110 VSD-10.4 | 10.4 | 165,5-291,9 | 9.9-17.5 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 VSD-8.6 | 8.6 | 124,8-357,5 | 7.5-21.4 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 132 VSD-10.4 | 10.4 | 164,9-331,2 | 9.9-19.9 | 79 | 3098 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-8.6 STD(V1) | 8.6 | 143,9-388,8 | 8.6-23.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-10.4 STD(V1) | 10.4 | 164,9-358,2 | 9.9-21.5 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-8.6 STD(V2) | 8.6 | 146,9-438,2 | 8.8-26.3 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
| ZT 160 VSD-10.4 STD(V2) | 10.4 | 164,9-378,1 | 9.9-22.7 | 79 | 3118 | 3935 | 3400 | 1660 | 2150 |
ISO 1217 Annex C, 4. painos (2009) mukaan yksikön suorituskyvyn vertailuehdot ovat seuraavat:
· Suhteellinen kosteus: 0 %
· Absoluuttinen tulopaine: 1 bar
· Tulolämpötila: 20°C
Siirtymä FAD mitataan seuraavilla käyttöpaineilla:
Vakionopeusmallit:
-7,5 bar mallit: 7 bar
-8,6 baarin mallit: 7 bar
-10 baarin mallit: 9 bar
VSD mallit:
-8,6 baarin mallit: 7 bar
-10,4 baarin mallit: 9 bar
(2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd). Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (ISO 9614/2 äänenvoimakkuuden skannausmenetelmä). Äskettäin lisätty korjauskerroin KpAd on epävarma ja vastaa testikoodia.
(3) V1 = 380 V, V2 = 400 V.
(4) Paino on vain viitteellinen; todellinen paino on ensisijainen.
ZR/ZT 200-275 (FF)
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Asennettu teho (kW) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Paino - Täysi suorituskyky (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 200 -7,5 | 7.5 | 602.3 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200 -8,6 | 8.6 | 552.1 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200 -10 | 10 | 506.6 | 30.0 | 200 | 67 | 3860 | 5230 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -7,5 | 7.5 | 718.0 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -8,6 | 8.6 | 684.3 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 -10 | 10 | 622.8 | 37.4 | 250 | 67 | 4310 | 5680 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -7,5 | 7.5 | 774.4 | 46.5 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -8,6 | 8.6 | 718.0 | 43.1 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -10 | 10 | 683.9 | 41.0 | 275 | 67 | 4640 | 6010 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 275 -13 | 13 | 561.8 | 33.7 | 275 | 70 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2008 |
| ZT 200 -7,5 | 7.5 | 567.1 | 34.0 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 200 -8.6 | 8.6 | 519.5 | 31.2 | 200 | 77 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 200 -10 | 10 | 497.4 | 29.8 | 200 | 78 | 5250 | 6150 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -7,5 | 7.5 | 711.5 | 42.7 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -8,6 | 8.6 | 676.8 | 40.6 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 -10 | 10 | 614.3 | 36.9 | 250 | 77 | 5700 | 6600 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -7,5 | 7.5 | 745.4 | 44.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -8,6 | 8.6 | 711.5 | 42.7 | 275 | 77 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 275 -10 | 10 | 676.4 | 40.6 | 275 | 78 | 6030 | 7080 | 5040 | 1662 | 2108 |
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Asennettu teho (kW) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Paino - Täysi suorituskyky (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 250 VSD -8,6 | 8.6 | 242,6-714,4 | 14.6-42.9 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250 VSD -10,4 | 10.4 | 234,2-640,2 | 14.1-38.4 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315 VSD -8,6 | 8.6 | 242,6-788,1 | 14,6-47,3 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315 VSD -10,4 | 10.4 | 234,2-700,0 | 14,1-42,0 | 73 | 73 | 4710 | 6400 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZT 250 VSD -8.6 | 8.6 | 238,0-696,9 | 14.3-41.8 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 250 VSD -10.4 | 10.4 | 386,0-633,4 | 23,2-38,0 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 315 VSD -8.6 | 8.6 | 238,0-739,4 | 14.3-44.4 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
| ZT 315 VSD -10.4 | 10.4 | 386,0-681,0 | 23.2-40.9 | 78 | 78 | 5700 | 6950 | 5040 | 1662 | 2108 |
-Suhteellinen kosteus: 0 %
- Absoluuttinen tulopaine: 1 bar
- Tulolämpötila: 20°℃
Purkausnopeus (FAD) mitattiin seuraavilla käyttöpaineilla
Vakionopeustyyppi:
-7,5 baarin tyyppi: 7 bar
-8,6 baarin tyyppi: 7 bar
-10 baarin tyyppi: 9 bar
VSD-tyyppi:
-8,6 baarin tyyppi: 7 bar
-10,4 baarin tyyppi: 9 bar
(2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd).
Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (käyttäen 150 9614/2 (äänivoimakkuuden skannausmenetelmä).
Uusi korjauskerroin on täysin epävarma arvo (KpAd), joka on testikoodin mukainen.
(3) Paino on vain viitteellinen; todellinen toimitettu paino on ensisijainen.
300-750 ZR
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Asennettu teho (kW) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Paino - Täysi suorituskyky (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 300 -7,5 | 7.5 | 774.6 | 46.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 300 -8,6 | 8.6 | 725.7 | 43.5 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 300 -10 | 10 | 695.1 | 41.7 | 300 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -7,5 | 7.5 | 848.0 | 50.9 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -8,6 | 8.6 | 793.1 | 47.6 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 315 -10 | 10 | 766.6 | 46.0 | 315 | 72 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -7,5 | 7.5 | 939.1 | 56.3 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -8,6 | 8.6 | 877.1 | 52.6 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 -10 | 10 | 839.6 | 50.4 | 355 | 74 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 -7,5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 -8,6 | 8.6 | 963.9 | 57.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| 400 -10 ZR | 10 | 930.5 | 55.8 | 400 | 74 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 425 -7,5 | 7.5 | 1143.9 | 68.6 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 425 -8,6 | 8.6 | 1063.1 | 63.8 | 450 | 74 | 8250 | 3700 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -7,5 | 7.5 | 1275.7 | 76.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -8,6 | 8.6 | 1191.8 | 71.5 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 450 -10 | 10 | 1106.3 | 66.3 | 450 | 74 | 8700 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -7,5 | 7.5 | 1399.1 | 78.3 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -8,6 | 8.6 | 1305.2 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 -10 | 10 | 1217.8 | 73.1 | 500 | 74 | 9200 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -7,5 | 7.5 | 1715.0 | 102.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -8,6 | 8.6 | 1595.0 | 95.7 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 630 -10 | 10 | 1484.1 | 88.9 | 630 | 76 | 9800 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -7,5 | 7.5 | 2046.2 | 122.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -8,6 | 8.6 | 1827.4 | 109.6 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 | |
| ZR 750 -10 | 10 | 1696.7 | 101.8 | 750 | 76 | 10000 | 4320 | 2120 | 2400 |
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Asennettu teho (kW) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Paino - Täysi suorituskyky (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 355 VSD -8,6 | 8.6 | 371,2-1037,5 | 22,3-62,2 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 355 VSD -10,4 | 10.4 | 374,4-942,4 | 22,5-56,5 | 81 | 81 | 8805 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 VSD -8,6 | 8.6 | 371,2-1120,9 | 22,3-67,3 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 400 VSD -10,4 | 10.4 | 374,4-998,6 | 22.5-59.9 | 81 | 81 | 9090 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 500 VSD -10,4 | 10.4 | 374,4-1177,9 | 22,5-70,7 | 81 | 81 | 9190 | 4075 | 2120 | 2400 | |
| ZR 700 VSD -8,6 | 8.6 | 374,4-2061,8 | 54,9-123,7 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 700 VSD -10,4 | 10.4 | 849,7-1840,5 | 51,0-110,4 | 83 | 83 | 11402 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 900 VSD -8,6 | 8.6 | 930,7-2475,4 | 55,8-148,5 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 | |
| ZR 900 VSD -10,4 | 10.4 | 864,8-1873,2 | 51,9-112,4 | 83 | 83 | 12600 | 4660 | 2120 | 2470 |
Yksikön suorituskyvyn vertailuolosuhteet mitattiin ISO 1217:n liitteen C 4. painoksen (2009) mukaisesti:
· Suhteellinen kosteus: 0 %
· Absoluuttinen tulopaine: 1 bar
· Tulolämpötila: 20°C Purkausnopeus (FAD) mitattiin seuraavilla käyttöpaineilla:
Vakionopeustyyppi:
· -7,5 baarin tyyppi: 7 baaria
· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar
· -10 baarin tyyppi: 9 bar
VSD-tyyppi:
· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar
· -10,4 baarin tyyppi: 9 bar
· (2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd). Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (käyttäen 150 9614/2 äänenvoimakkuuden skannausmenetelmää). Uusi korjauskerroin on täysin epävarma arvo (KpAd), joka on testikoodin mukainen.
· (3) Paino on vain viitteellinen; todellinen toimitettu paino on ensisijainen.
ZR 200X-400X
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Asennettu teho (kW) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 200X -7,5 | 7.5 | 623.1 | 37.4 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200X -8,6 | 8.6 | 601.9 | 36.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 200X -10 | 10 | 551.7 | 33.1 | 200 | 67 | 3860 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250X -7,5 | 7.5 | 717.7 | 43.1 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 250X -8,6 | 8.6 | 683.8 | 41.0 | 250 | 67 | 4310 | 3140 | 1662 | 2008 |
| ZR 315X -7,5 | 7.5 | 939.0 | 56.3 | 315 | 76 | 7950 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -7,5 | 7.5 | 1034.2 | 62.1 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -8,6 | 8.6 | 963.5 | 57.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 355X -10 | 10 | 930.2 | 55.8 | 355 | 76 | 8050 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 400X -7,5 | 7.5 | 1143.8 | 68.6 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| ZR 400X -8,6 | 8.6 | 1062.7 | 63.8 | 400 | 76 | 8150 | 3700 | 2120 | 2400 |
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD+ | 10.4 | 78,8-229,9 | 4.7-13.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD+ | 10.4 | 78,8-283,9 | 4,7-17,0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 VSD+ | 10.4 | 78,8-330,3 | 4.7-19.8 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 VSD+ | 10.4 | 78,8-384,0 | 4,7-23,0 | 68 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 145 VSD+ | 10.4 | 78,8-415,2 | 4.7-24.9 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ | 10.4 | 78,8-468,2 | 4.7-27.1 | 70 | 2500 | 2030 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD+ | 10.4 | 78,8-227,4 | 4.7-13.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 90 VSD+ | 10.4 | 78,8-276,9 | 4.7-16.6 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 110 VSD+ | 10.4 | 78,8-323,4 | 4.7-19.4 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 132 VSD+ | 10.4 | 78,8-377,5 | 4.7-22.7 | 72 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 145 VSD+ | 10.4 | 78,8-409,0 | 4.7-24.5 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ | 10.4 | 124,7-436,4 | 7.5-26.2 | 74 | 3150 | 3400 | 1654 | 2000 |
| Malli | Suurin pakokaasupaine (bar) | Liikenne FAD (l/s) | Liikenne FAD (m³/min) | Melutaso (dB(A)) | Vakiopaino (kg) | Koko L(mm) | Koko W(mm) | Koko H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZR 75 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-229,9 | 4.7-13.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 90 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-283,9 | 4,7-17,0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 110 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-330,3 | 4.7-19.8 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 132 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-384,0 | 4,7-23,0 | 68 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 145 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-415,2 | 4.7-24.9 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZR 160 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-468,2 | 4.7-27.1 | 70 | 3400 | 3400 | 1660 | 2000 |
| ZT 75 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-227,4 | 4.7-13.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 90 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-276,9 | 4.7-16.6 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 110 VSD+ FF | 10.4 | 78,8-323,4 | 4.7-19.4 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 132 VSD+ FF | 10.4 | 107,0-377,5 | 6.4-22.7 | 72 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 145 VSD+ FF | 10.4 | 118,0-409,0 | 7.1-24.5 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
| ZT 160 VSD+ FF | 10.4 | 124,7-436,4 | 7.5-26.2 | 74 | 3790 | 4085 | 1654 | 2000 |
Yksikön suorituskyvyn vertailuolosuhteet mitattiin ISO 1217:n liitteen C 4. painoksen (2009) mukaisesti:
· Suhteellinen kosteus: 0 %
· Absoluuttinen tulopaine: 1 bar
· Tulolämpötila: 20°C Purkausnopeus (FAD) mitattiin seuraavilla käyttöpaineilla:
Vakionopeustyyppi:
· -7,5 baarin tyyppi: 7 baaria
· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar
· -10 baarin tyyppi: 9 bar
VSD-tyyppi:
· -8,6 baarin tyyppi: 7 bar
· -10,4 baarin tyyppi: 9 bar
· (2) Työaseman A-luokan painotettu äänenpainetaso (LpWSAd). Mitattu standardin ISO 2151:2004 mukaan (käyttäen 150 9614/2 äänenvoimakkuuden skannausmenetelmää). Uusi korjauskerroin on täysin epävarma arvo (KpAd), joka on testikoodin mukainen.
· (3) Paino on vain viitteellinen; todellinen toimitettu paino on ensisijainen.
Aasialainen elektroniikkavalmistaja asensi DECHUANin erikoisilmajärjestelmän toimittamaan erittäin puhtaita typpeä tuottavia silmukoita ja pneumaattisia testausvarsia. Aiemmin vakiokompressorit sallivat öljyhöyryjen kulkeutua sisäsuodattimien ohi, pinnoittaen litografialinssejä ja aiheuttaen mikromurtumia kiekkojen pinnoitteissa. Semiconductor Labsin öljyttömän ilmakompressorin asennuksen jälkeen laboratorio raportoi nolla öljyyn liittyvää linjakontaminaatiota, mikä säästää huomattavia puhdastilojen puhdistus- ja uudelleenkalibrointikustannuksia kahden vuoden jatkuvan käytön aikana.
• Ruostumattomasta teräksestä valmistettujen materiaalien päivitys: Korvaamme kaikki standardi sisäiset valukomponentit korkealaatuisella ruostumattomalla teräksellä noudattaaksemme tiukkoja mikrokontaminaation ohjeita.
• Kehittyneet tiedonsiirtoprotokollat: Yksikkö on esiladattu erityisillä viestintäprotokolilla, joiden avulla puhdastilojen ohjauskeskukset voivat seurata ilmanmittauksia etänä.
• Kompakti rakenteellinen jalanjälki: Sisätilojen asettelu on optimoitu minimoimaan jalanjälki, joten se on helppo asentaa ahtaisiin laboratorion kellaritiloihin.
V: Kyllä, ilmatehomme on täysin yhteensopiva kehittyneiden puhdastilan kuivausainekuivainten ja submikronisten hiukkasten suodatusjärjestelmien kanssa. Koska raakailma ei sisällä öljyhöyryä, käyttöpisteeseen erikoistuneet suodattimesi eivät tukkeudu öljysumulla, mikä pidentää suodattimen käyttöikää.
V: Semiconductor Labsin öljyttömässä ilmakompressorissa on fyysinen ilmakehän ilmatila öljyvoideltujen vaihteistokotelon ja kuivan puristuskammion välissä. Erikoistuneet kosketuksettomat hiilirengastiivisteet on yhdistetty alipainekanaviin, mikä varmistaa, että kaikki vaihteistoöljysumut estetään täysin pääsemästä puhtaaseen ilmavirtaan.
V: Elektronikon®-ohjain ottaa näytteitä tärkeitä tietoja useita kertoja sekunnissa. Jos lämpötilapiikki havaitaan missä tahansa vaiheessa, järjestelmä laukaisee välittömästi automaattisen sammutuksen ja sulkee eristysventtiilit varmistaen, että jäähdyttämätöntä ilmaa ei koskaan virtaa alavirtaan laboratoriosi herkkiin laitteisiin.



